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    干式真空泵類型如何來選擇

    點擊次數:?? 更新時間:2020-07-17 09:45?? ??來源:http://www.springfieldmfgllc.com/ 【關閉
           在干式真空泵的應用中,選擇合適的設備可以有效地解決干式真空泵設備的兩個問題:第一,吸入容器污染泵的工作介質,影響產品質量、數量和維護成本。第二,由于某些反應材料在真空泵過程中的介質變質,使泵不能正常工作。那么干式真空泵都有哪些類型呢?大致可以分為:
     
    1.   雙圓裂紋。該設計非常類似于目前流行和廣泛使用的根泵。實際上,一些早期的干泵設計思想是堆根泵。這種多階段的設計使得氣體路徑相當復雜,每一個都需要大量的氮流稀釋和分離。同時,為了實現良好的真空,對各級排雷都有非常嚴格的要求。當然,這種設計提高了內部壓縮比,并且降低了成本。
    干式真空泵
    2.   內壓螺桿類型。除了采用一對非等距螺桿外,內壓螺桿設計和外壓螺桿設計的基本原理非常相似。內部壓縮之間的體積。由于內部壓縮,這種設計將其功耗降低到相當于多級泵的水平。然而,在許多過程中,這種內部壓縮與多級泵一樣,很容易導致泵體內氣體的物理和化學變化產生凝固或液化。
     
    3.   組合(胡蘿卜爪)。該設計采用根提高低壓下抽油效率,提高高壓下抽油效率。其基本原理和氣路與上述原理完全相同。一些制造商已經將最后一層改為星形設計,使氣體可以分成五個部分在一個旋轉的圓圈,正如一個三件分裂設計可以分成三個部分。同樣,在許多工藝中,每一層復合材料的設計都需要大量的氮氣來稀釋和分離。
     
    4.   三葉圓葉。這種干式真空泵的設計與雙圓分片機的設計相同,它將氣體分為三個部分,而不是兩個部分,如雙圓分片機。兩種設計都有相同的優缺點。為了進一步降低功耗,一些制造商在變速器中選擇了兩臺直流電動機,但這也會導致扭矩降低,重啟容量下降。與雙圓分片設計一樣,三葉圓分片設計的每一層需要大量的氮氣來稀釋和分離。
     
    5.  外壓螺桿類型。應用一對等距螺釘。這使得內部壓縮減少到更小的數量,同時使氣體通道更短更簡單。這樣,氣體在干式真空泵體內停留較短。雖然這種設計降低了內壓縮比,使其功耗相對較高,但在許多復雜的半導體工藝中表現出高的穩定性。這種單級設計使得對氮的使用要求非常小和簡單,因此在不同工藝中具有良好的互換性。在許多清潔過程中甚至不能使用氮。
     
        隨著干式真空泵應用的不斷增加,廠家為了更好地滿足企業的需求,使其可以分為這些類型,通過以上的詳細介紹,使其能夠根據自己的應用需要,選擇設施。

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